ALD上下料机

              产品特点

              最高产能可达到16000pcs/h

              可根据客户需求进行配置

              特制精密陶瓷吸盘,陶瓷顶齿,陶瓷侧齿,减少硅片划伤,保证设备的稳定性

              ALD上下料机技术参数
              技术参数相关参数
              产能8000/11000/16000 pcs/h
              金属舟规格 200槽 ,节距2.38mm
              硅片尺寸 166mm-210mm
              适用花篮100 casstte
              碎片率≤0.03%
              开机率≥98%
              耗气量1000L/min
              具体参数如有变动,本公司不另行通知!
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